رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار (CVD)

رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار (Chemical Vapor Deposition) یکی از روش‌های لایه نشانی و پوشش دهی در خلا می باشد که برای تولید مواد با کیفیت، با کارایی بالا و جامد مورد استفاده قرار می گیرد. یکی از کاربردهای اساسی این روش در صنایع نیمه رسانا برای تولید لایه‌های نازک می باشد.