اطلاعات کلی

  • نام دستگاه: لایه نشانی با تبخیر حرارتی به روش DC و e-beam
  • نام شرکت و کشور سازنده: جهاد دانشگاهی شریف- ایران
  • هزینه استفاده از دستگاه: تماس بگیرید
  • نحوه رزرو دستگاه: برای تکمیل فرم، روی دکمه زیر کلیک نمایید

لایه نشانی با تبخیر حرارتی به روش DC و e-beam

• قابلیت چرخش زیرلایه ها
• قابلیت پوشش دهی انواع مواد از جمله مواد سرامیکی و دیرگداز
• امکان اندازه گیری ضخامت پوشش با دقت آنگستروم با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
• حداکثر ضخامت قابل انجام 1 میکرومتر
• دستگاه در مقیاس آزمایشگاهی است.
• نمونه باید مسطح و صیقلی باشد.
• ابعاد نمونه باید کوچکتر از 10*10 سانتی متر باشد.
• جریان ورودی به منبع تبخیر تا 200 آمپر قابل متغییر می‌باشد.
• بوته از جنس تنگستن می‌باشد.
نکته: تارگت در این روش به صورت پودر یا قرص می باشد. تهیه تارگت برعهده متقاضی می باشد.

برخی از کاربردها

• ایجاد پوشش های سخت بر روی زیر لایه ها به منظور افزایش خواص مکانیکی
• بهبود خواص الکتریکی و یا نوری سطح
• حسگرها و آشکارسازها
• سلولهای خورشیدی
• الکترونیک
• اپتوالکترونیک

نمونه‌های انجام شده

Al، Au، Ni، Cr، SiC، BiSbTe و …