لایه نشانی با تبخیر حرارتی به روش DC و e-beam

کاربردهای دستگاه لایه نشانی با تبخیر حرارتی به روش DC و e-beam:

• ایجاد پوشش­های سخت بر روی زیر لایه ها به منظور افزایش خواص مکانیکی
• بهبود خواص الکتریکی و یا نوری سطح
• حسگرها و آشکارسازها
• سلولهای خورشیدی
• الکترونیک
• اپتوالکترونیک

مشخصات فنی لایه نشانی با تبخیر حرارتی به روش DC و e-beam:

• قابلیت چرخش زیرلایه ها
• قابلیت پوشش دهی انواع مواد از جمله مواد سرامیکی و دیرگداز
• امکان اندازه گیری ضخامت پوشش با دقت آنگستروم با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
• حداکثر ضخامت قابل انجام 1 میکرومتر
• دستگاه در مقیاس آزمایشگاهی است.
• نمونه باید مسطح و صیقلی باشد.
• ابعاد نمونه باید کوچکتر از 10*10 سانتی متر باشد.
• جریان ورودی به منبع تبخیر تا 200 آمپر قابل متغییر می‌باشد.
• بوته از جنس تنگستن می‌باشد.