کندوپاش مغناطیسی با منابع RF و DC

کاربردهای دستگاه کندوپاش مغناطیسی با منابع RF و DC:

• ایجاد پوشش­های سخت بر روی زیر لایه ها به منظور افزایش خواص مکانیکی
• بهبود خواص الکتریکی و یا نوری سطح
• حسگرها و آشکارسازها
• سلولهای خورشیدی
• الکترونیک
• اپتوالکترونیک

ستگاه کندوپاش مغناطیسی با منابع RF و DC:

• قابلیت چرخش زیرلایه ها
• قابلت گرم کردن زیرلایه ها تا دمای 150 درجه سانتی گراد
• قابلیت پوشش دهی انواع تارگت های هادی، نیمه هادی و عایق
• امکان اندازه گیری ضخامت پوشش با دقت آنگستروم با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
• حداکثر ضخامت قابل انجام 1 میکرومتر
• دستگاه در مقیاس آزمایشگاهی است.
• نمونه باید مسطح و صیقلی باشد.
• ابعاد نمونه باید کوچکتر از 10*10 سانتی متر باشد.
• قطر تارگت مورد استفاده در دستگاه 2 اینچ می باشد.